יצרנית מוליכים למחצה הייתה זקוקה לחימום טבילה מותאם אישית של PTFE עבור מיכל תהליך רטוב בספסל. המחמם תוכנן בצורה נכונה עבור החובה התרמית, הכימיה ומגבלות החלל. הוא הותקן ופעל בהצלחה במשך שלושה חודשים. ואז מחלקת האיכות של ה-Fab ביקשה תיעוד לביקורת לקוח. ספק המחמם לא יכול היה לספק מעקב אחר חומרים, אישור גימור פני השטח או נתונים שניתנים לחילוץ. המחמם הוצא משירות עד שניתן היה להשיג את התיעוד.
למוצרי מוליכים למחצה יש דרישות תיעוד ואישור החורגות מהמפרט החשמלי והתרמי של המחמם. הדרישות מכסות טוהר החומר, גימור פני השטח, חומרי מיצוי ועקיבות. מחמם טבילה מותאם אישית של PTFE לשירות מוליכים למחצה חייב לעמוד בדרישות אלה, והספק חייב לספק את התיעוד להוכחת זאת.
עקיבות וטוהר החומר
ה-PTFE המשמש במחמם מוליכים למחצה חייב להיות ניתן למעקב למגרש השרף. על הספק לספק תעודת אנליזה (CoA) עבור הפולימר, המציגה את מספר החלקה, היצרן ואת מאפייני המפתח-משקל מולקולרי, גבישיות ורמות טומאה.
ה-PTFE חייב להיות פולימר בתולי ללא מילוי. PTFE מלא-המכיל זכוכית, פחמן או תוספים אחרים-אינו מקובל מכיוון שחומרי המילוי יכולים לדלוף לתוך אמבט התהליך. הפולימר חייב לעמוד בדרישות הטוהר של התהליך, בדרך כלל עם יונים שניתנים לחילוץ מתחת לגבולות שצוינו.
| תיעוד | מה זה מאשר | דרישה אופיינית |
|---|---|---|
| שרף CoA | מעקב אחר מגרש, מאפיינים | משקל מולקולרי, רמות טומאה |
| אישור חומר | PTFE בתולה, ללא חומרי מילוי | 100% PTFE בתולי |
| דוח פריטי חילוץ | זיהום יוני | <50 ppb per ion |
| דוח גימור פני השטח | ערך Ra | <0.4 μm Ra |
| בדיקת מימד | עמידה בסובלנות | לכל ציור |
תיעוד עקיבות וטוהר חומרים עבור מחממי PTFE מוליכים למחצה
גימור פני השטח וניקיון
תהליכי מוליכים למחצה דורשים משטחים חלקים ונקיים שאינם לוכדים חלקיקים או משחררים מזהמים. נדן ה-PTFE חייב להיות בעל גימור משטח של 0.4 מיקרומטר Ra או טוב יותר. משטח מחוספס יותר יכול להכיל חלקיקים ולקדם היווצרות ביופילם.
יש לנקות ולפאסיבי את התנור לפני ההתקנה. תהליך הניקוי מסיר שאריות ייצור, שמנים וחלקיקים. תהליך הפסיבציה מבטיח שהמשטח אינרטי מבחינה כימית ואינו משחרר מזהמים לאמבט התהליך.
דוח גימור משטח ואישור ניקוי מתעדים את ניקיון המחמם. הדוח צריך לכלול את שיטת המדידה, את מיקומי הדגימה והתוצאות.
בדיקת חומרי חילוץ וחומרים ניתנים לחילוץ
בדיקת חומרים לחילוץ מודדת את שחרור של יונים, חומרים אורגניים וחלקיקים מהמחמם לנוזל התהליך. הבדיקה כוללת טבילה של המחמם במים טהורים במיוחד או בנוזל תהליך מייצג בטמפרטורת הפעלה למשך תקופה מוגדרת, ולאחר מכן ניתוח הנוזל לאיתור מזהמים.
גבולות הניתנים לחילוץ תלויים בתהליך. עבור תהליכי מוליכים למחצה קריטיים, המגבלות עשויות להיות בטווח החלקים הנמוכים-ל-מיליארד עבור מתכות ואורגניות. דוח הבדיקה מתעד את התוצאות ומאשר שהמחמם עומד בדרישות התהליך.
| מִבְחָן | מה זה מודד | גבול טיפוסי | שִׁיטָה |
|---|---|---|---|
| חומרי מיצוי ממתכת | Fe, Cu, Ni, Cr, Zn | <50 ppb each | ICP-MS |
| חומרי מיצוי אורגניים | TOC, אורגניות ספציפיות | <100 ppb TOC | HPLC, GC-MS |
| שחרור חלקיקים | Particles >0.2 μm | <100 particles/L | מונה חלקיקים נוזליים |
| חומרי מיצוי אניונים | Cl⁻, F⁻, SO₄²⁻ | <50 ppb each | כרומטוגרפיה של יונים |
דרישות בדיקת חומרים לחילוץ עבור מחממי PTFE מוליכים למחצה
אישורי חשמל ובטיחות
המחמם חייב לעמוד בדרישות הבטיחות החשמליות של המפעל. בצפון אמריקה, זה אומר בדרך כלל רישום UL או ETL. באירופה, זה אומר סימון CE עם עמידה בהנחיות החלות.
מארז המסוף חייב לעמוד בדירוג ההגנה המתאים לכניסה-בדרך כלל IP66 או NEMA 4X. המחמם חייב להיות תואם למערכת ההגנה מפני תקלות הארקה של היצרן.
| הסמכה | אֵזוֹר | מה זה מכסה | דרישה אופיינית |
|---|---|---|---|
| UL 499 | צפון אמריקה | בטיחות חשמל | רשום או מוכר |
| לִספִירַת הַנוֹצרִים | אֵירוֹפָּה | בטיחות, EMC | סימון והצהרה |
| IP66 | בינלאומי | הגנה מפני כניסה | מתחם טרמינל |
| ATEX | אֵירוֹפָּה | הוכחת פיצוץ- | אם אווירה דליקה |
| SEMI S2 | מוֹלִיך לְמֶחֱצָה | הנחיות בטיחות | דרישה מפוארת |
אישורי חשמל ובטיחות לתנורי PTFE מוליכים למחצה
חבילת מעקב ותיעוד
חבילת התיעוד למחמם מוליכים למחצה כוללת את אישורי החומרים, דוח גימור פני השטח, דוח בדיקת החומרים לחילוץ, אישורי החשמל ודו"ח בדיקת הממדים. החבילה חייבת להיות ניתנת למעקב למספר הסידורי הספציפי של המחמם.
החבילה נבדקת על ידי מחלקת האיכות של היצרן לפני קבלת התנור. תיעוד לא שלם עלול לעכב את ההתקנה או לגרום לדחייה.
כאשר תנורי חימום סטנדרטיים אינם יכולים לעמוד בדרישות התיעוד
מחממי טבילה סטנדרטיים מסוג PTFE אינם מסופקים עם חבילת התיעוד הנדרשת עבור שירות מוליכים למחצה. מחמם טבילה מותאם אישית מסוג PTFE המיועד לשירות מוליכים למחצה כולל את התיעוד, הבדיקות והעקיבות הנדרשות. תהליך המפרט דורש את כימיה התהליך, דרישות הטוהר, מפרט גימור פני השטח, מגבלות הניתנים לחילוץ והסמכות חשמל.
